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クリーンルーム(くりーんるーむ)

最終更新:2026/4/25

クリーンルームは、空気中の微粒子を除去し、清浄な環境を維持するように設計された特殊な部屋である。

別名・同義語 清浄室無塵室

ポイント

半導体製造や精密機器の組み立てなど、高度な清浄度が要求される分野で広く利用されている。清浄度は、空気中の微粒子の数で定義される。

クリーンルームの概要

クリーンルームは、空気中の塵、微生物化学物質などの汚染物質を除去し、特定の清浄度レベルを維持するために設計された特殊な部屋です。その目的は、製品の汚染を防ぎ、製造プロセスにおける品質と信頼性を確保することにあります。

クリーンルームの清浄度

クリーンルームの清浄度は、空気1立方メートル中に存在する特定のサイズの微粒子の数で分類されます。一般的に、ISO 14644-1規格に基づいて分類され、ISOクラス1からISOクラス9までのレベルがあります。ISOクラス1が最も清浄で、ISOクラス9が最も汚染されています。

クリーンルームの構成要素

クリーンルームは、以下の主要な構成要素から成り立っています。

  • HEPAフィルター:効率子状空気(HEPA)フィルターは、空気中の微粒子を99.97%以上除去できるフィルターです。
  • 空気循環システム: クリーンルーム内の空気を循環させ、汚染物質を除去します。
  • 壁、床、井: 表面が滑らかで、清掃しやすい素材でできています。
  • エアシャワー: 人や器がクリーンルームに入る際に、付着した微粒子を除去します。
  • アクセス制御: クリーンルームへのアクセスを制限し、汚染を防ぎます。

クリーンルームの用途

クリーンルームは、以下のような様々な分野で使用されています。

  • 半導体製造: 半導体チップの製造には、極めて高い清浄度が要求されます。
  • 精密機器の組み立て: 医療機器、航空宇宙機器などの精密機器の組み立てにもクリーンルームが使用されます。
  • 医薬品製造: 医薬品の製造プロセスにおける汚染を防ぎます。
  • 食品製造: 食品の品質と安全性を確保するために使用されます。
  • 研究開発: 微生物学ナノテクノロジーなどの研究開発分野で使用されます。

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