クリーンルーム(くりーんるーむ)
最終更新:2026/4/25
クリーンルームは、空気中の微粒子を除去し、清浄な環境を維持するように設計された特殊な部屋である。
別名・同義語 清浄室無塵室
ポイント
半導体製造や精密機器の組み立てなど、高度な清浄度が要求される分野で広く利用されている。清浄度は、空気中の微粒子の数で定義される。
クリーンルームの概要
クリーンルームは、空気中の塵、微生物、化学物質などの汚染物質を除去し、特定の清浄度レベルを維持するために設計された特殊な部屋です。その目的は、製品の汚染を防ぎ、製造プロセスにおける品質と信頼性を確保することにあります。
クリーンルームの清浄度
クリーンルームの清浄度は、空気1立方メートル中に存在する特定のサイズの微粒子の数で分類されます。一般的に、ISO 14644-1規格に基づいて分類され、ISOクラス1からISOクラス9までのレベルがあります。ISOクラス1が最も清浄で、ISOクラス9が最も汚染されています。
クリーンルームの構成要素
クリーンルームは、以下の主要な構成要素から成り立っています。
- HEPAフィルター: 高効率粒子状空気(HEPA)フィルターは、空気中の微粒子を99.97%以上除去できるフィルターです。
- 空気循環システム: クリーンルーム内の空気を循環させ、汚染物質を除去します。
- 壁、床、天井: 表面が滑らかで、清掃しやすい素材でできています。
- エアシャワー: 人や機器がクリーンルームに入る際に、付着した微粒子を除去します。
- アクセス制御: クリーンルームへのアクセスを制限し、汚染を防ぎます。
クリーンルームの用途
クリーンルームは、以下のような様々な分野で使用されています。